Měříme teploty ve vakuu s bezdrátovým přenosem dat

07.07.2015
Byla realizována instalace námi vyvinutého měřicího systému teplot ve firmě Rodenstock. Měřicí systém se umísťuje přímo do vakuové komory, během plazmové depozice tenkých vrstev jsou kontaktně měřeny teploty substrátů, získaná data jsou on-line bezkontaktně přenášena do počítače umístěného vně komory.